測(cè)量顯微鏡107JPC

產(chǎn)品名稱：測(cè)量顯微鏡107JPC
產(chǎn)品型號(hào)：107JPC測(cè)量顯微鏡
產(chǎn)品廠商：上海
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹

測(cè)量顯微鏡107JPC采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測(cè)量

。在107J基礎(chǔ)上加裝光柵測(cè)量尺，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，將測(cè)量數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理

，可進(jìn)行各種復(fù)雜的二維幾何測(cè)量

。

測(cè)量顯微鏡107JPC

的詳細(xì)介紹

測(cè)量顯微鏡107JPC

一、用途：

測(cè)量顯微鏡107JPC采用透

、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量

。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測(cè)量。廣泛地適用于計(jì)量室

，生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門

。

在107J基礎(chǔ)上加裝光柵測(cè)量尺，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)

，將測(cè)量數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理

，可進(jìn)行各種復(fù)雜的二維幾何測(cè)量。測(cè)量顯微鏡107JPC是光

、機(jī)

、電一體化的高科技精密測(cè)量?jī)x器。

二

、技術(shù)規(guī)格

鏡筒	粗　　　動(dòng)		調(diào)節(jié)范圍 90毫米
	微　　　動(dòng)		調(diào)節(jié)范圍 2毫米
	高（Z)測(cè)量		1毫米小讀數(shù)0.001毫米（干分表讀數(shù)）
	鏡　　　筒		雙目鏡筒俯角45°
工作臺(tái)	左右（X軸）		移動(dòng)范圍50毫米
	前后（Y)軸		移動(dòng)范圍50毫米
	分　辨　率		1微米
	旋　　　轉(zhuǎn)		360°
照明系統(tǒng)	光源	透射照明	8V-15W 藍(lán) 、綠濾色片
		反射照明	8V-12W 磨砂燈泡綠色濾色片
		斜照明	8V-15W
	電　　源		AC 220V±10% 50/60HZ
光學(xué)系統(tǒng)	目　　鏡		BWF 10X
	物　　鏡		4X 工作距離17.5 焦距28.8
			10X 工作距離11.6 焦距15.4
			40X 工作距離0.66 焦距4.4

107JA測(cè)量顯微鏡采用光柵尺和數(shù)據(jù)箱，并配有計(jì)算機(jī)圖象處理系統(tǒng)

。還可選配增加視頻圖像系統(tǒng)

，在計(jì)算機(jī)屏幕上直接瞄準(zhǔn)。

通過(guò)計(jì)算機(jī)接口和二維測(cè)量程序可使被測(cè)工件的輪廓直接構(gòu)圖在計(jì)算機(jī)屏幕上

，由AutoCAD進(jìn)行編輯

。

二維測(cè)量程序包括點(diǎn)、線

、園

、弧、直線度

、園度

、螺紋、凸輪等測(cè)量功能

。

107JA測(cè)量顯微鏡放大倍數(shù)高

，工作臺(tái)除作X，Y坐標(biāo)的移動(dòng)外

，還可以作360°的旋轉(zhuǎn)

，亦可以進(jìn)行高度方向Z坐標(biāo)的測(cè)量。照明系統(tǒng)除作透

、反射照明外

，還有斜光線照明

。

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